光刻機(jī)上市龍頭公司有：

　　1、芯源微：光刻機(jī)龍頭。半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)研制。

　　2、華特氣體：光刻機(jī)龍頭。特種氣體龍頭企業(yè)。

　　其他光刻機(jī)概念股還有： ST澄星、永太科技、廣信材料、同益股份、捷捷微電、藍(lán)英裝備、江化微、飛凱材料、上海新陽(yáng)等。

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