光刻機(jī)被譽(yù)為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠，其工藝水平直接決定了芯片的制程水平和性能水平，其重要性可見(jiàn)一斑。目前，全球只有4個(gè)國(guó)家能夠生產(chǎn)光刻機(jī)，如今中國(guó)也成為了其中一員，正式拿到了光刻機(jī)的入場(chǎng)券，具體情況是怎樣的呢？一起來(lái)看看。

為紀(jì)念浦東開(kāi)發(fā)開(kāi)放30周年，中央廣播電視總臺(tái)財(cái)經(jīng)節(jié)目中心和上?？傉韭?lián)合推出的六集4K紀(jì)錄片《而立浦東》，在第四集講述了中國(guó)光刻機(jī)的研發(fā)歷史。指出每顆芯片誕生之初，都要經(jīng)過(guò)光刻機(jī)的雕刻，精度要達(dá)到頭發(fā)絲的千分之一。18年前，全球光刻機(jī)市場(chǎng)只有荷蘭、美國(guó)、日本擁有“入場(chǎng)券”，并對(duì)中國(guó)實(shí)施技術(shù)封鎖。

上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司副董事長(zhǎng)賀榮明帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)，從維修零部件開(kāi)始研發(fā)。對(duì)于光刻機(jī)來(lái)說(shuō)，曝光是最關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。2007年，研發(fā)團(tuán)隊(duì)迎來(lái)了第一次正式曝光。2007年2月8日這一天，五年的堅(jiān)守與付出，終于初見(jiàn)曙光。現(xiàn)如今，中國(guó)依托張江的創(chuàng)新，成為了除荷蘭、美國(guó)、日本之外全球能生產(chǎn)光刻機(jī)的四個(gè)國(guó)家之一。