光刻機(jī)上市龍頭公司有：

　　1、芯源微（688037）：光刻機(jī)龍頭。作為與光刻機(jī)配合進(jìn)行作業(yè)的關(guān)鍵處理設(shè)備，公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機(jī)成功打破國外廠商壟斷并填補(bǔ)國內(nèi)空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)，作為國內(nèi)廠商主流機(jī)型已成功實現(xiàn)進(jìn)口替代；通過多年的技術(shù)研發(fā)、實踐應(yīng)用積累以及持續(xù)承擔(dān)國家02重大專項，公司成功突破了應(yīng)用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設(shè)備技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進(jìn)行工藝驗證。

　　2、清溢光電（688138）：光刻機(jī)龍頭。

　　3、華特氣體（688268）：光刻機(jī)龍頭。公司研發(fā)出的20種進(jìn)口替代產(chǎn)品已實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)。特氣體也通過了全球最大光刻機(jī)供應(yīng)商ASML公司的產(chǎn)品認(rèn)證，并為中芯國際、華虹宏力等一線企業(yè)供貨。

　　光刻機(jī)概念其他的還有： 奧普光電、福晶科技、晶方科技、怡達(dá)股份、永太科技、安泰科技、中環(huán)股份、上海新陽、滬硅產(chǎn)業(yè)、光華科技、北方華創(chuàng)等。

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